안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.

 

광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중

 

PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.

 

Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,

 

n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne

 

n1 = Ground State Density

n0 = Total Gas Density

n1sx = Ar 4s

ne = Electron Density

 

1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)

 

2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?

   - Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼

   - On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음

 

항상 좋은정보 감사드립니다~~

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77161
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20441
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92919
682 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 593
681 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 595
680 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 599
679 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 600
678 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 601
677 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
676 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 603
675 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 604
674 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 615
673 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 616
672 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 618
671 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 622
670 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 623
669 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 623
668 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 626
667 RF Sputtering Target Issue [2] file 627
666 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 627
665 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 632
664 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 638
663 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 639

Boards


XE Login