Plasma in general RF 주파수에 따른 차이점
2023.10.12 16:38
안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.
보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다
그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다
또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.
기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76895 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92718 |
| 179 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 810 |
| 178 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 805 |
| 177 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] | 802 |
| 176 | Collisional mean free path 문의... [1] | 795 |
| 175 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 792 |
| 174 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 792 |
| 173 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 788 |
| 172 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 780 |
| 171 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 775 |
| 170 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 763 |
| 169 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 763 |
| 168 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 762 |
| 167 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 762 |
| 166 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 749 |
| 165 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 745 |
| » | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 743 |
| 163 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 737 |
| 162 | ICP 후 변색 질문 | 735 |
| 161 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 733 |
| 160 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 728 |