공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[279]
| 77111 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20407 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57318 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68859 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92874 |
580 |
플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다.
[1] | 888 |
579 |
RF 반사파와 이물과의 관계
[1] | 1137 |
578 |
타겟 임피던스 값과 균일도 문제
[1] | 405 |
577 |
압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
[1] | 28581 |
576 |
Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1396 |
575 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2467 |
574 |
Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
[1] | 468 |
573 |
엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 1129 |
572 |
플라즈마 기술관련 문의 드립니다
[1] | 6420 |
571 |
ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 823 |
570 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
| 592 |
569 |
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
[1] | 972 |
568 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1525 |
567 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1180 |
566 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5611 |
565 |
연면거리에 대해 궁금합니다.
[1] | 859 |
564 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1715 |
563 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2263 |
562 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2595 |