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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[278]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1284 |
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638 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3974 |
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637 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1694 |
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636 |
Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 1367 |
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635 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1182 |
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634 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1652 |
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633 |
ICP 대기압 플라즈마 분석
[1] | 722 |
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632 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 2357 |
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631 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1536 |
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안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
[1] | 451 |
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1384 |
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628 |
ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 2100 |
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627 |
ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요?
[1] | 8745 |
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626 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3568 |
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625 |
ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 14852 |
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624 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1348 |
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623 |
전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1018 |
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622 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 877 |
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621 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2301 |
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620 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1539 |
