Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1970

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77331
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20510
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57431
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68970
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92996
290 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1382
289 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1379
288 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1354
287 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1353
286 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1348
285 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1346
284 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1331
283 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1328
282 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1305
281 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1304
280 플라즈마 기초입니다 [1] 1302
279 플라즈마 챔버 [2] 1297
278 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1291
277 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1281
276 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1279
275 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1267
274 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1260
273 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1259
272 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1240
271 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1239
쓰기
태그

Boards

XE Login