Others analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]

2017.03.07 16:14

kimsh92y 조회 수:854

안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.

 

pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.

 

여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.

 

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