ESC Si Wafer Broken

2018.08.01 11:16

장영구 조회 수:2591

안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.

Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..

Si Wafer가 ESC Chucking  Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)

ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.

ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)

Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77307
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20505
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68953
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92989
430 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2182
429 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2184
428 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2190
427 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2266
426 플라즈마볼 제작시 [1] file 2275
425 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2281
424 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2299
423 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2309
422 etching에 관한 질문입니다. [1] 2312
421 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2347
420 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2349
419 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2350
418 Wafer particle 성분 분석 [1] 2356
417 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2362
416 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2363
415 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2366
414 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2368
413 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2379
412 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2387
411 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2391
쓰기
태그

Boards

XE Login