Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:917

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [287] 77333
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20511
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57431
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68970
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92997
430 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2186
429 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2189
428 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2190
427 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2266
426 플라즈마볼 제작시 [1] file 2275
425 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2283
424 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2299
423 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2311
422 etching에 관한 질문입니다. [1] 2315
421 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2349
420 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2350
419 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2353
418 Wafer particle 성분 분석 [1] 2356
417 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2363
416 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2364
415 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2366
414 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2369
413 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2381
412 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2392
411 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2392
쓰기
태그

Boards

XE Login