Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:916

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77311
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20506
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68958
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92991
430 RF matcher와 particle 관계 [2] 3063
429 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2954
428 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2942
427 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2926
426 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2911
425 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2878
424 임피던스 매칭회로 [1] file 2857
423 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2839
422 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2747
421 PR wafer seasoning [1] 2720
420 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2709
419 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2707
418 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2707
417 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2609
416 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2600
415 질문있습니다. [1] 2598
414 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2596
413 Si Wafer Broken [2] 2591
412 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2546
411 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2518

Boards


XE Login