안녕하세요.

RF 저온 플라즈마 발생장비를 사용하고 있는데, 수중 속에서 오존을 발생시키려면 어떠한 조건이 필요한지 궁금하여 질문드립니다.

해당 RF 저온 플라즈마 발생장비는 방전관 내부와 방전관 표면의 유리에서 방전이 일어나게 되고, 해당 Tip을 다시 표면이나

인체 피부에 접속 시, 유리방전관과 인체 피부 사이에서 방전현상이 일어나게 되어 방전관과 피부 사이를 지나는 공기 속의 산소가

전기적 에너지와 충돌하고, 결국 O2 에서 O+O로 분리되며, 분리된 O가 분리되지 않은 O2와 재결합하는 과정(O2 + O -> O3)에서

오존이 발생하게 되는 것으로 알고 있습니다.


궁금한 점은 해당 플라즈마 방전 Tip을 20ml 정도의 수중 속에 넣어서 전압을 인가 하였을 때, 표면에서 일어나는 플라즈마 에너지로

수중 내 이온들을 분리시켜 오존을 발생시킬 수 있는지 궁금합니다. (물은 D.W를 사용하였습니다).

오존은 기체다 보니 해당 장치로 플라즈마를 인가하면 수중 속 분자(H2O) 들이 이온화 되면서 재결합하는 과정에서

일부 오존들이 만들어지고, 기포가 조금이라도 발생할 줄 알았는데, 아무런 변화가 없었습니다.

혹시 수중 속 이온들을 이온화 시키기 위해 필요한 플라즈마 에너지가 부족한 것일까요?


자료들을 찾아보니, 과산화수소(H2O2), 에어버블을 이용해서 저온 플라즈마 장치를 수중 속에 넣게 되면 오존율을 높일 수 있다고

해서, 과산화수소(35%) 원액속에도 담궈봤는데 아무런 변화가 없었습니다. 그래서 해당 플라즈마 장치가 이온화를 시킬 수 있는

충분한 에너지 또는 조건성립이 부족했던건 아닌가 생각이 드는데, 혼자 고민하다가 여기 질문방을 찾게 되었고, 의견을 받고 싶어

글을 올리게 되었습니다.


바쁘시겠지만, 답변 부탁드리겠습니다. 혹시 설명이 부족하면 더 추가하도록 하겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77222
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68902
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92950
706 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 499
705 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 500
704 plasma striation 관련 문의 [1] file 500
703 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 501
702 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 507
701 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 513
700 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 521
699 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 522
698 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 527
697 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 538
696 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 539
695 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 549
694 self bias [1] 552
693 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 554
692 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 554
691 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 555
690 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 566
689 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 574
688 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 576
687 핵융합 질문 [1] 577

Boards


XE Login