Plasma in general plasma etching을 관련 문의드립니다.
2019.03.26 14:10
안녕하세요. 서울대학교 재료공학부 오규환 교수님 연구실 박사과정 정제준입니다.
SiC 샘플에 plasma etching을 하려고 하는데 CF4 or O2 플라즈마를 이용해서 실험을 해보려고 합니다.
1. 플라즈마 응용연구실에서 장비가 있다면 사용이 가능한지요?
2. SiC etching에 다른 플라즈마 소스를 추천해주신다면 어떤게 있을까요?
3. 장비가 없으시면 다른곳을 추천해주시면 감사하겠습니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77063 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20381 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57292 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68838 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92840 |
| 481 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 769 |
| 480 | wafer bias [1] | 1145 |
| 479 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1152 |
| 478 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 520 |
| 477 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 2042 |
| 476 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1051 |
| 475 | 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] | 1987 |
| 474 | PEALD관련 질문 [1] | 32652 |
| 473 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2295 |
| 472 | dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] | 3589 |
| 471 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1088 |
| 470 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 735 |
| 469 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 4021 |
| 468 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 429 |
| 467 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2372 |
| 466 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1168 |
| 465 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1360 |
| 464 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 962 |
| 463 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 2035 |
| » | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2441 |