Langmuir Probe Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
2019.04.03 18:09
안녕하십니까
서울과학기술대학교에서 external DC voltage biasing을 이용한 여러 어플리케이션에 대해서 연구하고 있는 학생입니다.
먼저 플라즈마는 RF plasma이며 바이어싱을 걸어주기 위해 파워서플라이와 저항을 이용하여 회로를 구성하였고 바이어싱이 걸리는 기판은 일반적인 탐침이 아님 Planar한 Steel substrate입니다.
기판에 바이어싱이 걸리는지 확인하기 위해 Langmuir probe의 원리를 이용하여 기판에 도달하는 전류를 측정하려고 하는데 저희의 경우 Remote 플라즈마를 사용하고 있기 때문에 플라즈마로 기판이 직접 들어가는 것이 아니라 플라즈마 발생지점 수직선상으로 밑에 위치하게 됩니다.
이런 경우에도 Langmuir probe의 이상적인 I-V Characteristics가 나타나는지 궁금합니다.
댓글 3
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [292] | 77358 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20517 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57432 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68976 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93001 |
| 292 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8655 |
| 291 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8714 |
| 290 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8791 |
| 289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8822 |
| 288 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8909 |
| 287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8950 |
| 286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9041 |
| 285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9082 |
| 284 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9276 |
| 283 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9290 |
| 282 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9541 |
| 281 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9567 |
| 280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9665 |
| 279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9692 |
| 278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9849 |
| 277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9929 |
| 276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10052 |
| 275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10345 |
| 274 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10408 |
| 273 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10416 |