OES OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법
2022.10.31 18:24
안녕하십니까, 플라즈마 관련하여 공부하고 있으며 디스플레이 업체에 근무하고있습니다.
몇 가지 궁금증이 있어서 글을 남기게 되었습니다.
OES의 경우 Plasma 정성적 특성을 계측하기 위하여 주로 사용된다고 알고 있습니다. 실제로 Gas 트랜드 및 Chamber 분위기 등의 변화를
계측할때 사용하고 있습니다.
그런데, OES를 가지고 정량적 측정을 한다는 이야기를 들어서 여쭤보려합니다.
(RGA를 이용한 방법은 몇 가지 논문을 확인하였으나, OES는 생소합니다.)
1. 정량적 측정을 하는 방식이 궁금합니다. (혹시 추천해줄 논문 or 자료가 있으시면 읽어보겠습니다.)
2. 현재 OES를 사용하여, Chamber 내 H(수소) 함량을 알려고 하는데 가능한지 여쭤보려합니다. (Ar 가스 or N2 가스가 아닙니다.)
3. 만약 가능하다면, 참고 할만한 자료가 있으면 추천 부탁드립니다.
*PECVD Deposition 공정에서 OES를 통한 H(수소) 함량에 따른 Wafer 막질의 변화를 확인하기 위하여 진행하려합니다.
여러가지 다양한 질문과 답변을 통하여 자료를 찾는데 많은 도움을 받고 있습니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77080 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20394 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57303 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68846 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92855 |
181 | PDP 에 대해서.. | 18307 |
180 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18321 |
179 | Faraday shielding & Screening effect | 18365 |
178 | 질문 있습니다. [1] | 18370 |
177 | 물리적인 sputterting | 18384 |
176 | RF compensate probe | 18455 |
175 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18537 |
174 | 최적의 펌프는? | 18548 |
173 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18554 |
172 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18558 |
171 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18569 |
170 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18659 |
169 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18738 |
168 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18768 |
167 | 플라즈마의 환경이용 | 18772 |
166 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18776 |
165 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18881 |
164 | 플라즈마에 관하여... | 18964 |
163 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19053 |
162 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19137 |