번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76895
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57205
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92718
139 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 631
138 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 630
137 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 627
136 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 626
135 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 624
134 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 622
133 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 619
132 RF Sputtering Target Issue [2] file 617
131 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 617
130 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 615
129 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 613
128 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 609
127 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 602
126 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 600
125 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 599
124 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 596
123 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 594
122 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 593
121 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
120 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 589
쓰기
태그

Boards

XE Login