안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77139
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20426
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57335
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68874
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92897
322 자료 요청드립니다. [1] 6211
321 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6305
320 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6306
319 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6307
318 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6370
317 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
316 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6420
315 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6455
314 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6461
313 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6477
312 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6502
311 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6503
310 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6541
309 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6572
308 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6702
307 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6767
306 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7128
305 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7311
304 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7663
303 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7673

Boards


XE Login