Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] 77180
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20452
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68888
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92927
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6459
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8632
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1913
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 469
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 939
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5218
338 가입인사드립니다. [1] 1880
337 문의 드립니다. [1] 878
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 666
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1411
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1441
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1070
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6319
331 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1459
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 377
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5966
» 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 984
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6313
326 핵융합 질문 [1] 575
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 638

Boards


XE Login