Others analog tuner관련해서 질문드립니다.
2017.03.07 16:14
안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.
pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.
여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77188 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20456 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57356 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68897 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92937 |
| 164 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 743 |
| 163 | ICP 후 변색 질문 | 742 |
| 162 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 741 |
| 161 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 735 |
| 160 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 726 |
| 159 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 723 |
| 158 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 715 |
| 157 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 714 |
| 156 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 713 |
| 155 | Polymer Temp Etch [1] | 711 |
| 154 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 711 |
| 153 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 699 |
| 152 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 698 |
| 151 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 694 |
| 150 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 694 |
| 149 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 685 |
| 148 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 685 |
| 147 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 671 |
| 146 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 670 |
| » | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 667 |