Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
2018.08.29 17:36
안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.
최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.
충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.
수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다
또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.
위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??
홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77308 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20506 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57415 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68956 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92989 |
» | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 719 |
649 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 721 |
648 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 726 |
647 | Polymer Temp Etch [1] | 732 |
646 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 733 |
645 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 743 |
644 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 749 |
643 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 749 |
642 | ICP 후 변색 질문 | 750 |
641 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 757 |
640 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 763 |
639 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 765 |
638 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 771 |
637 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 772 |
636 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 774 |
635 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 776 |
634 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 780 |
633 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 782 |
632 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 786 |
631 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 796 |