Matcher Load position 관련 질문 드립니다.

2021.02.03 17:50

아저씨 조회 수:2479

 

 

이제 막 Plasma라는 것에 첫발을 딛은 직장 입니다. 

 

주파수는 13.56Mhz 사용 중입니다. 

 

공정 Power가 500W -> 1000W로 올렸더니 Load position이 내려 갔습니다. 

 

RF power가 상향되면 Load position이 내려가는 이유를 잘 모르겠습니다. (기계공학전공입니다.)

 

Load position이 내려가는 이유를 알려주실수 있을까요? 

 

감사합니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20490
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57409
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68939
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
410 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2397
409 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2401
408 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2402
407 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2417
406 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2418
405 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2435
404 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2448
403 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2448
» Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2479
401 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507
400 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2512
399 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2540
398 Si Wafer Broken [2] 2580
397 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2584
396 질문있습니다. [1] 2598
395 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2600
394 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2607
393 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2700
392 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2703
391 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2709
쓰기
태그

Boards

XE Login