Plasma in general RF 주파수에 따른 차이점
2023.10.12 16:38
안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.
보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다
그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다
또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.
기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77192 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20457 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57356 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68897 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92938 |
165 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18883 |
164 | 플라즈마에 관하여... | 18967 |
163 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19056 |
162 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19169 |
161 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19172 |
160 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19200 |
159 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19232 |
158 | MFC | 19338 |
157 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19341 |
156 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19361 |
155 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19366 |
154 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19406 |
153 | QMA에 관하여 [1] | 19440 |
152 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19448 |
151 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19464 |
150 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19507 |
149 | self bias [1] | 19509 |
148 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19583 |
147 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19650 |
146 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19672 |