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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 2005 |
441 |
압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 2013 |
440 |
chamber impedance
[1] | 2023 |
439 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 2029 |
438 |
플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다.
[1] | 2032 |
437 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 2039 |
436 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 2044 |
435 |
doping type에 따른 ER 차이
[1] | 2082 |
434 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 2117 |
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 2131 |
432 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 2132 |
431 |
[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2] | 2145 |
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플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2159 |
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플라즈마 관련 기초지식
[1] | 2159 |
428 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2183 |
427 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2255 |
426 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2255 |
425 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2263 |
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ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2278 |
423 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
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