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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[280]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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402 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2467 |
401 |
RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY
[1] | 2467 |
400 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2502 |
399 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2526 |
398 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 2541 |
397 |
Si Wafer Broken
[2] | 2558 |
396 |
질문있습니다.
[1] | 2589 |
395 |
산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 2592 |
394 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2596 |
393 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2677 |
392 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2682 |
391 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 2702 |
390 |
PR wafer seasoning
[1] | 2708 |
389 |
플라즈마 압력에 대하여
[1] | 2740 |
388 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2813 |
387 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2839 |
386 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2851 |
385 |
[Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련]
[3] | 2868 |
384 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 2897 |
383 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 2904 |