Collision MFP에 대해서..

2012.04.12 08:57

SPL 조회 수:7830

안녕하세요 조성운입니다.

 plasma 내 존재하는 particle의 반경과 압력을 알때 MFP는 1/ nr(n 밀도, r 충돌 단면적)로 계산할 수 있다고 합니다.

플라즈마에 존재하는 다양한 radicals의 MFP를 계산하기 위해서는 모든 종의 충돌 단면적을 알아야 가능한데,

혹시 F, CF, CF2, CF3 의 충돌단면적을 알 수 있는 방법이 없을까요??

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76900
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20293
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57211
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68762
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
499 Ar plasma power/time [1] 1447
498 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1455
497 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1457
496 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1460
495 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
494 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1468
493 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1469
492 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1469
491 알고싶습니다 [1] 1471
490 ICP lower power 와 RF bias [1] 1473
489 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1475
488 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1476
487 charge effect에 대해 [2] 1481
486 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1514
485 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1525
484 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1527
483 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1536
482 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1539
481 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1552
480 plasma 형성 관계 [1] 1555
쓰기
태그

Boards

XE Login