CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
2016.12.15 13:35
안녕하세요?
제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다.
http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou
위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77312 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20507 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57416 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68959 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92991 |
| 310 | Ar plasma power/time [1] | 1460 |
| 309 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1457 |
| 308 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1457 |
| 307 | PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] | 1455 |
| 306 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1454 |
| 305 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1447 |
| 304 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1446 |
| 303 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1446 |
| 302 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1445 |
| 301 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1444 |
| 300 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1439 |
| 299 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1421 |
| 298 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1415 |
| 297 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1414 |
| 296 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1407 |
| 295 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1405 |
| 294 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1400 |
| 293 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1388 |
| 292 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1381 |
| 291 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1381 |