Plasma Source RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.

2018.11.20 16:00

RFPlasma 조회 수:1244

안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.

 RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변)  기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.

Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?

주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.

조언 부탁드립니다.



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [291] 77356
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20516
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57432
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68975
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93001
551 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1186
550 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1189
549 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1192
548 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1194
547 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1195
546 전자 온도 구하기 [1] file 1195
545 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1202
544 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1209
543 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1212
542 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1219
541 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1230
540 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1239
» RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1244
538 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1260
537 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1266
536 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1267
535 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1280
534 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1285
533 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1291
532 플라즈마 챔버 [2] 1299
쓰기
태그

Boards

XE Login