Chamber Impedance 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스]

2020.09.25 10:30

이찌 조회 수:2666

안녕하십니까 현재 MF(400kHz) 파워를 개발중에 있는 연구원입니다. 

 

RPG 파워를 개발중에 있습니다. 

개발품으로는 RPG에서 챔버의 유량 (GAS)에 따른 출력이 변화하며 제어 되어야 하는데, 

검출로는  FWD_P, REF_P만을 사용하려 합니다. 

이 두가지 팩터로, 챔버의 임피던스 변화량을 추정 할 수 있는지 궁금합니다. 

 

만약 방법이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다. 

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