Ion/Electron Temperature 플라즈마 진단 공부중 질문
2022.07.08 16:13
안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.
광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중
PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.
Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,
n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne
n1 = Ground State Density
n0 = Total Gas Density
n1sx = Ar 4s
ne = Electron Density
1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)
2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?
- Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼
- On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음
항상 좋은정보 감사드립니다~~
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77055 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20376 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57288 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68833 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92833 |
681 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 620 |
680 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1929 |
679 | plasma striation 관련 문의 [1] | 491 |
678 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 558 |
677 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 640 |
676 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 560 |
675 | RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] | 1200 |
674 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 1238 |
673 | Plasma Arching [1] | 1085 |
672 | Polymer Temp Etch [1] | 693 |
671 | CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] | 1030 |
670 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 503 |
669 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1420 |
668 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1332 |
667 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 463 |
666 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 817 |
665 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 902 |
664 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 839 |
663 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 5213 |
662 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1274 |