Deposition PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다.
2023.04.11 16:35
안녕하세요 Plasma를 이용하여 ALD 실험을 진행하고 있는 대학원생입니다.
다름이 아니라 어느 순간부터 plasma를 발생시키게 되었을 때 처음 발생시킬 때에는 플라즈마 빛의 세기도 매우 강하고 잘 생성이 된다고 생각이 들었는데 그 이후로 발생시킬 때는 플라즈마의 색깔도 조금 변하고 세기가 많이 약해집니다.
NH3, N2 plasma를 최근 이용하였을 때 계속해서 그러한 현상이 일어나고 있습니다.
이러한 현상에 대해서 혹시 원인을 알고 계셔서 알려주신다면 정말 감사드립니다 ㅠㅠ
아님 개인적인 소견이라도 말씀해주시면 정말 큰 도움이 될 것 같습니다 ㅠㅠ
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77138 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20425 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68873 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92897 |
742 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 342 |
741 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 352 |
740 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 357 |
739 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 370 |
738 | plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] | 372 |
737 | 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] | 376 |
736 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 376 |
735 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 377 |
734 | RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] | 377 |
733 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 382 |
732 | plasma modeling 관련 질문 [1] | 391 |
731 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 394 |
730 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 405 |
729 | 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] | 411 |
» | PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] | 416 |
727 | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 416 |
726 | standing wave effect, skin effect 원리 [1] | 419 |
725 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 | 425 |
724 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 427 |
723 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 430 |