ATM Plasma 플라즈마를 이용한 오존 발생장치

2004.06.19 17:13

관리자 조회 수:28954 추천:270

질문에 혼돈이 있는 이유는 플라즈마를 이용한 오존 발생기가 있기 때문입니다. 다시 이야기 하면 오존을 만들기에 적합한 플라즈마 발생 방치들이 있다는 말입니다. 이와 다른 방법으로 오존을 만드는 예에대해서는 저는 잘 아지 못하고 다만 플라즈마를 이용한 오존 발생장치를 예로 하겠습니다. 최근에는 DBD 방법으로 산소 플라즈마를 만들다 보면 많은 오존에 형성되게 됩니다. 또한 Corona 방전, 대부분 고전압 펄스 방전에서 형성되는 플라즈마를 의미하는데 이를 대기압 상태에서 형성시키다 보면 공기 중 산소에 의해서 오존이 다량 셩성되기도 합니다. 앞에서 말한 Corona 방전기, 대기압 방전, DBD등은 이전 설명을 참고하시고 이들 방전기를 플라즈마 발생기의 한 종류라 생각할 수 있으며 일반적인 플라즈마 발생기에 비해서 높은 운전 압력, 즉 대기압 등의 조건에서 플라즈마를 발생하는 장치, 큰 의미의 플라즈마 발생기라 할 수 있습니다.

참고로 플라즈마라는 표현은 플라즈마 상태를 의미하는 것으로 물질의 상태 중 하나입니다. 따라서 대부분의 개스는 플라즈마 상태를 만드는 대상이 될 수 있으며 산소를 포함하지 않은 개스를 플라즈마 상태로 만들 경우 물론 오존의 발생 가능성은 거의 없습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77080
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20394
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57303
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68846
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92855
141 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 640
140 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 638
139 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
138 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 634
137 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 630
136 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 624
135 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 623
134 RF Sputtering Target Issue [2] file 622
133 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 620
132 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 618
131 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 617
130 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 613
129 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 610
128 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 606
127 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
126 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 601
125 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 600
124 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 599
123 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 598
122 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 597

Boards


XE Login