Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?

2004.06.21 15:43

관리자 조회 수:18749 추천:254

질문 ::

플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.

답변 ::

플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77272
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68922
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92970
107 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 516
106 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 510
105 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 504
104 plasma striation 관련 문의 [1] file 503
103 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 503
102 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
101 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 490
100 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 479
99 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 477
98 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 477
97 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 476
96 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 475
95 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 473
94 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 472
93 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 469
92 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 468
91 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 457
90 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 456
89 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 456
88 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 456

Boards


XE Login