Langmuir Probe 대기압플라즈마 진단

2004.06.21 15:52

관리자 조회 수:21028 추천:254

질문 ::

대기압 플라즈마에서 lanmuir probe로 분석할 수 있는지 궁금합니다.
온도가 높아서 탐침이 탄다고 하던데 해결할 수 있는지 궁금합니다.
답변 부탁드리겠습니다

답변 ::

탐침을 이용한 대기압 진단은 한마디로 말해서 매우 어렵습니다
다음과 같은 문제가 해결되어야 합니다.
1. 충돌성이 매우 높은 플라즈마의 특성이 대기압 플라즈마의 특징중에 하나입니다.
따라서 충돌성이 매우 높은 플라즈마에서의 쉬스 형성에 관한 문제의
해결 (쉬스 경계에서의 이온의 속도 정의)
2. 쉬스 안에서 이온화가 일어나는 정도에 따라서 탐침에 들어오는
전류량이 바뀌게 됩니다. 이 값에 대한 보정
3. 탐침이 입사되는 전류에 의해서 고온으로 될때 탐침에서 방출되는
열전자의 효과 보정 (많은 경우 이 값이 이온 전류로 오인되어 무리한
해석을 하고 있는 경우가 많습니다).
등등..

위의 문제들의 일부는 해결이 되고 있기도 합니다만 아직까지 이 모든
문제를 해결했다고는 보이지 않습니다. 하지만 옳지 못한 자료라 하더라도 탐침에 의한 자료 취득을 시도할 필요는 있습니다. 사용을 주저하지는 않기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77200
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20462
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57359
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68898
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92945
226 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1029
225 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1027
224 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1025
223 고진공 만드는방법. [1] 1020
222 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1019
221 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1010
220 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1009
219 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 988
218 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 987
217 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 986
216 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 984
215 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 975
214 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 971
213 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 967
212 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 946
211 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 943
210 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 941
209 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 920
208 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 916
207 Plasma Generator 관련해서요. [1] 914

Boards


XE Login