====================================<질문>===================================
전 대학원에서 ICP장비를 이번부터 배우려고 하는 학생입니다.
sheath 영역은 플라즈마 장비를 배우는데, 그보다도 플라즈마를 배우는데 매우 중요한 것으로 알고 있습니다. 좀더 이 영역에 대한 좀더 자세한 내용을 알고 싶은데 어디에서 찾을 수 있을지 궁굼합니다. 그리고 selective etching에대해 알고 싶습니다.
====================================<답변>===================================
질문하신 내용의 대부분은 이미 설명한 내용입니다.
본란을 잘 찾아 보시기 바랍니다.
특히 ICP든 CCP든 플라즈마 발생 방법에 대해서 공부를 하고자
한다면 이 또한 이미 설명 드린 내용에서 기초적인 이해를 얻을 수
있을 것 입니다.
한 가지 권하고 싶은 것은 ICP 공부 이전에 DC glow 방전에 대해서 먼저
이해하고 공부를 시작하기 바랍니다.
(+ 저희 플라즈마 응용 연구실의 강의록을 참조하기 바랍니다.)
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77143 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20426 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68877 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92901 |
162 | Ground에 대하여 | 39502 |
161 | 교재구입 | 20727 |
160 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134459 |
159 | 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 | 21548 |
158 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19735 |
157 | Lissajous figure에 대하여.. | 20633 |
156 | plasma and sheath, 플라즈마 크기 | 23996 |
155 | 교육 기관 문의 | 17783 |
154 | Breakdown에 대해 | 21391 |
153 | 이온주입량에 대한 문의 | 20743 |
152 | Peak RF Voltage의 의미 | 22628 |
151 | electrode gap | 17965 |
150 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95819 |
149 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18321 |
148 | 플라즈마의 어원 | 16347 |
147 | 확산펌프 | 20528 |
146 | 플라즈마에 관하여... | 18965 |
145 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18571 |
144 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18554 |
143 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21629 |