ICP 플라즈마가 불안정한대요..
2004.06.25 16:43
질문 ::
planar ICP를 만들면서 (아직 완성 못 했슴) 조그만 helical coil ICP(유리관 주위로 코일 감음)를 만들어 플라즈마를 생성시켜 봤습니다. 그런데 플라즈마가 안정하지가 않고 세졌다 약해졌다 (reflected power가 거의 0%에서 대충 80~90% 가까이까지 왔다갔다 합니다.)를 반복합니다. 제가 체크해볼 수 있는 사항에는 어떤 것들이 있을까요?
그럼 다시 감사드리며.. 새해 복 많이 받으십시요.
답변 ::
압력과 전력을 낮추고 플라즈마를 좀 더 오랜시간을 켜 놓으세요.
플라즈마도 새로운 환경에 적응하려면 시간이 걸립니다.
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