Others Full Face Erosion 관련 질문
2008.12.16 08:24
안녕하세요.
Full face erosion 관련 자료를 찾던 중 이곳까지 오게되었습니다. 인터넷검색으로는 자료를 찾을수가 없어서
이렇게 글을 올립니다.
high deposition rate가능, long time process가능, 간단한 process control
등의 장점은 대충 알고 있으나, 어떠한 구조인지, 어떠한 원리로 위의 장점들이 가능한지,
단점은 무엇인지, 기존 sputter와 차이점 등등 FFE에 대한 자세한 내용을 알고싶습니다.
답변해 주시면 정말 많은 도움이 될 것같습니다.
자료를 올려주셔도 괜찮습니다 ^^;;;
사회초년생으로서 배울것이 너무 많은것 같네요.
염치없지만 부탁드립니다 ㅠ.ㅠ
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77151 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20432 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57337 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92905 |
| 162 | ICP 후 변색 질문 | 740 |
| 161 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 739 |
| 160 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 737 |
| 159 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 733 |
| 158 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 724 |
| 157 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 722 |
| 156 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 713 |
| 155 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
| 154 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 708 |
| 153 | Polymer Temp Etch [1] | 705 |
| 152 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 697 |
| 151 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 695 |
| 150 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 693 |
| 149 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 687 |
| 148 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 682 |
| 147 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 675 |
| 146 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 674 |
| 145 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 664 |
| 144 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 664 |
| 143 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 649 |