Etch Dry Etcher 에 대한 교재
2009.08.07 17:14
저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는 ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20289 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57206 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68760 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
219 | RF에 대하여,, | 17052 |
218 | Light flower bulb | 17081 |
217 | PSM을 이용한 Radical측정 방법 | 17083 |
216 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17087 |
215 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17199 |
214 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17348 |
213 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 17452 |
212 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17513 |
211 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 17557 |
210 | 유전체 플라즈마 | 17565 |
209 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17621 |
208 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 | 17628 |
207 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 17695 |
206 | 충돌 | 17709 |
205 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17739 |
204 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17765 |
203 | 교육 기관 문의 | 17783 |
202 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 | 17792 |
201 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17813 |
200 | capacitively/inductively coupled plasma | 17815 |