Others TMP에 대해 다시 질문 드립니다.

2009.09.27 23:42

서현 조회 수:18308 추천:146

저희 장비에는  TMP컨트롤러가 설치되어 있지 않습니다.
그렇기 때문에 앞서 질문드렸던 것 처럼 정지시까지 3시간 OFF  time을 주고 있습니다.

문제는 이 3시간 입니다.

어떤 사유로 실험을  반복 한다든지 아니면 늦게 시작 한다 든지 ...
이럴 땐  TMP off time 3시간이 정말 길게 느껴지네요...

제가 느끼기에  TMP on또는 off 시 제트엔진 소리가 들립니다.
그리고 실험 과정에서도  챔버와 게이트밸브의 열고 닫음을  제트엔진 소리체크 합니다.

하지만 제트엔진 소리 10분 내에 사라집니다.

그럼 제트 엔진 소리가 들리지 않는다는것은 TMP가 멈추었다는 거 아닌가요???
전원을 내려도 되는 거 아닙니까??

TMP RPM이 0 에 올때까지 얼마나 걸리나요?

그것이 TMP OFF  인데...아무리 생각해도 3시간이란 시간은 너무 긴거 같아서요..

인터넷에서 저희 가 사용하는 TMP 메뉴얼 찾아보고 있는데 상당히 짜증납니다.
3시간 기다리는것도 지겨워 죽겠고...
오늘도 실험실에서  자정을 넘기며~ 글을 남깁니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77240
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
626 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 800
625 Collisional mean free path 문의... [1] 805
624 플라즈마 충격파 질문 [1] 816
623 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 817
622 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 818
621 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 822
620 라디컬의 재결합 방지 [1] 825
619 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 828
618 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 832
617 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 836
616 RF 파워서플라이 매칭 문제 843
615 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 847
614 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 850
613 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 856
612 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 859
611 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 859
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 861
609 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 863
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 866
607 문의 드립니다. [1] 882

Boards


XE Login