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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ar plasma power/time
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강의를 들을 수 없는건가요?
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Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1457 |
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Plasma 발생영역에 관한 질문
[2] | 1460 |
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플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1466 |
494 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1468 |
493 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1469 |
492 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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알고싶습니다
[1] | 1471 |
490 |
ICP lower power 와 RF bias
[1] | 1473 |
489 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1475 |
488 |
N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 1476 |
487 |
charge effect에 대해
[2] | 1481 |
486 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1514 |
485 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1525 |
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PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1527 |
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1536 |
482 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1539 |
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1552 |
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plasma 형성 관계
[1] | 1555 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.