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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
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Dry Etching Uniformity 개선 방법
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플라즈마 색 관찰
[1] | 4332 |
338 |
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[3] | 4568 |
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Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 4861 |
335 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5118 |
334 |
RF power에 대한 설명 요청드립니다.
[1] | 5206 |
333 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 5229 |
332 |
SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다.
[1] | 5417 |
331 |
DRAM과 NAND에칭 공정의 차이
[1] | 5500 |
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5611 |
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RF Vpp 관련하여 문의드립니다.
[1] | 5705 |
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다.
[1] | 5943 |
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5945 |
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SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유
[1] | 5972 |
324 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] | 6071 |
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모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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자료 요청드립니다.
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.