Others DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단
2017.02.20 19:49
안녕하세요
연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.
현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.
Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.
DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다
따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고
가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.
하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.
이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.
그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76888 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20285 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92716 |
| 339 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5188 |
| 338 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
| 337 | 문의 드립니다. [1] | 871 |
| 336 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
| 335 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1408 |
| 334 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1438 |
| » | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1029 |
| 332 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6263 |
| 331 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1455 |
| 330 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
| 376 |
| 329 | 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] | 5933 |
| 328 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 976 |
| 327 | RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] | 6281 |
| 326 | 핵융합 질문 [1] | 571 |
| 325 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] | 637 |
| 324 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1974 |
| 323 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7662 |
| 322 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1277 |
| 321 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1427 |
| 320 | SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] | 5383 |
정전탐침, LP 등을 사용할 때 공간 분포는 위치를 변화시켜 가면서 측정을 할 수 있습니다. 이를 통해서 3차원 공간의 분포를 측정할 수 있겠고, 밀도 분포의 경우 satureation ion 혹은 electron current를 scan 하도록 구성하면 보다 수월하게 공간 분포 맵을 얻을 수가 있겠지요. 하지만 먼저 한 점의 자료를 해석하는 연습이 필요합니다. Magnetron plasma 의 경우 이온 전류에 집중하면 좋을 것이고, 다만 자기장이 분포를 하고 있으니 이 기준으로 탐침의 위치와 팁의 면 방향 등을 설정하는 점은 잊지 않아야 합니다. 또한 전체 플라즈마 분포를 예상해 보려면 광학적, 사진으로 부터 밝기 분포를 그려서 확인해 보는 방법도 추천합니다. 근사적인 플라즈마 분포를 볼 수 있습니다.
헌데 왜 magnetron plasma는 균일할 수가 없을까요? 먼저 이해하고 진단을 하는 것이 좋습니다.