Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:575

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77070
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20386
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57294
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68840
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92843
481 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1569
480 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1570
479 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1617
478 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1635
477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1635
476 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1667
475 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1675
474 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1682
473 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1683
472 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1686
471 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1698
470 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1711
469 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1714
468 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1717
467 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1763
466 터보펌프 에러관련 [1] 1773
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1775
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1795
463 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1825
462 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1825
쓰기
태그

Boards

XE Login