Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:580

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77314
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20508
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57416
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68964
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92991
370 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 2042
369 chamber impedance [1] 2034
368 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 2025
367 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2018
366 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 2007
365 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1996
364 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1994
363 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1993
362 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1991
361 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1970
360 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1969
359 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1963
358 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1954
357 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1935
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1933
355 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1933
354 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1917
353 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1887
352 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1886
351 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1886
쓰기
태그

Boards

XE Login