Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
2018.08.29 17:36
안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.
최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.
충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.
수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다
또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.
위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??
홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77308 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20506 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57415 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68956 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92989 |
» | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 719 |
649 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 721 |
648 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 726 |
647 | Polymer Temp Etch [1] | 732 |
646 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 733 |
645 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 743 |
644 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 749 |
643 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 749 |
642 | ICP 후 변색 질문 | 750 |
641 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 757 |
640 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 763 |
639 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 765 |
638 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 771 |
637 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 772 |
636 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 774 |
635 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 776 |
634 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 780 |
633 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 782 |
632 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 786 |
631 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 796 |
전류가 떨어지는 이유는 전극에 하전입자가 덜 주입되고 있기 때문일 것 입니다. 따라서 전극이 부도체화 되거나 먼지(파티클들이 쌓이면) 전극 전류가 순간 떨어지지 않을까요? 일시적으로 전극 코팅이 심하게 되면 전류가 떨어지며 전극이 방전 전극을 겸하고 있으므로 방전 특성도 좋지 않게 되겠습니다. 코팅된 전극이 복원된다면, 즉 코팅이 떨어져 나가게 된다면 방전은 다시 복귀하게 될 것입니다. 따라고 현재 집진기 구조에서 전극 상으로 코팅되는 현상을 제어하기 위한 전극 설계 혹은 방전기 운전 (펄스 주기 등)모드의 개발이 필요할 것 같습니다.