이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.

산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요

실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요

산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나

거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..

이유가 무엇일까요..?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76889
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57204
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92716
119 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 587
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 586
117 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 576
116 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
115 활성이온 측정 방법 [1] 574
114 핵융합 질문 [1] 571
113 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 568
112 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 558
111 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 557
110 PECVD Uniformity [1] 555
109 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
108 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 551
107 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 548
106 self bias [1] 546
105 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 518
104 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 518
103 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 518
102 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518
101 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 517
100 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 493

Boards


XE Login