Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] | 77228 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20468 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68903 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92951 |
646 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 727 |
645 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 737 |
644 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 741 |
643 | ICP 후 변색 질문 | 743 |
642 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 745 |
641 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 750 |
640 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 750 |
639 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 753 |
638 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 755 |
637 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 758 |
636 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 762 |
635 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 768 |
634 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 770 |
633 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 771 |
632 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 778 |
631 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 778 |
630 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] ![]() | 783 |
629 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 792 |
628 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 796 |
627 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 799 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.