Remote Plasma 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ

2019.06.25 10:26

evision21 조회 수:1054

 회원 가입했어요

 유용한 사이트 운영 감사 드립니다


 RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가

수출하고자 하는데요.

  이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다


  CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?


 -챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?

 - RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요? 

- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요? 

-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요?   채용시 장점은 ?


evision21 드림

trade consultanta  

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77151
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20432
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
602 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 904
601 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 905
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 908
599 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 909
598 Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
597 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 938
596 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 940
595 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 944
594 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 963
593 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969
592 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 973
591 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 981
590 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 981
589 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 982
588 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 984
587 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1005
586 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1006
585 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
584 고진공 만드는방법. [1] 1018
583 anode sheath 질문드립니다. [1] 1019
쓰기
태그

Boards

XE Login