Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77211 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20465 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68901 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
566 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15895 |
565 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15816 |
564 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15705 |
563 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15657 |
562 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15637 |
561 | 핵융합반응/플라즈마 | 15543 |
560 | In-flight plasma process | 15512 |
559 | 우주 플라즈마 | 15362 |
558 | 박막 형성 | 15303 |
557 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15173 |
556 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15061 |
555 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14909 |
554 | 우주 플라즈마 | 14788 |
553 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14742 |
552 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14736 |
551 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14590 |
550 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14504 |
549 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14452 |
548 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14150 |
547 | 플라즈마의 상태 | 14088 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .