Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
2020.10.28 15:20
안녕하십니까
반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.
궁금한게 있어서 문의 드립니다.
O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76901 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20295 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57212 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68764 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92723 |
| 639 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 733 |
| 638 | ICP 후 변색 질문 | 737 |
| 637 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 737 |
| 636 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 744 |
| 635 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 745 |
| 634 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 749 |
| 633 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 762 |
| 632 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 762 |
| 631 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 763 |
| 630 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 763 |
| 629 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 775 |
| 628 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 781 |
| 627 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 789 |
| 626 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 792 |
| 625 | Collisional mean free path 문의... [1] | 795 |
| 624 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 795 |
| 623 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 805 |
| 622 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] | 806 |
| 621 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 810 |
| 620 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 811 |