Etch Plasma 식각 test 관련 문의

2021.12.13 16:57

벅바 조회 수:3981

안녕하세요.

 

플라즈마 식각 중량변화 테스트를 O2가스와 NF3,AR(3:1) 비중으로 60분동안 200W전력 조건으로 

 

제품은 불소고무 O-RING 입니다.

 

할 수 있는곳이 있을까요?? 

 

도움 부탁드리겠습니다..

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77150
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20428
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
762 플라즈마 온도 27832
761 DBD란 27769
760 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27658
759 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27227
758 이온과 라디칼의 농도 file 27041
757 self bias (rf 전압 강하) 26765
756 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26504
755 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26268
754 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26237
753 충돌단면적에 관하여 [2] 26207
752 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25590
751 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24994
750 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24907
749 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24897
748 plasma와 arc의 차이는? 24814
747 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24784
746 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24777
745 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24696
744 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24640
743 플라즈마가 불안정한대요.. 24530

Boards


XE Login