Etch 플라즈마 샘플 위치 헷갈림
2022.06.07 20:57
안녕하세요.
현재, 플라즈마 장비를 이용하여 표면구조 처리를 하고자 하는 대학원생 조원희입니다.
다름이 아니라, 플라즈마를 주로 전공하는 과 가 아니기 때문에, 현재 연구실에 있는 플라즈마 샘플 위치에 헷갈림이 좀 있습니다.
오래전 저희 연구실에서는 O2와 Ar을 이용하여, 표면을 친수성으로 만들거나 고분자에 Ar/O2를 혼합하여 etching을 하였었는데, 경험 하신분들이 다 졸업을 하시는 바람에, 여기에 도움을 청하게 됐습니다.
제가 궁금한 점은,
1. O2만을 이용하여 표면을 친수성으로 만들때의 표면 위치와
2. Ar을 이용하여 etching을 할때의 표면 위치가
두 경우에 다른지가 궁금합니다.
타겟으로 하는 표면을 각각의 경우에, 챔버 내부의 RF Power와 Matching box가 연결되어 있는 부분에 두어야 하는지, 그 반대에 두어야 하는지 혹시 도와주실 분이 계신가요..?
참고로 샘플은 PDMS (고분자) 입니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77306 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20505 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57415 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68953 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92989 |
670 | PM을 한번 하시죠 | 19739 |
669 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19737 |
668 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19723 |
667 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19699 |
666 | DC SPT 문의 | 19690 |
665 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19674 |
664 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19652 |
663 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19596 |
662 | self bias [1] | 19532 |
661 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19518 |
660 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19466 |
659 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19460 |
658 | QMA에 관하여 [1] | 19442 |
657 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19412 |
656 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19366 |
655 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19363 |
654 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19359 |
653 | MFC | 19339 |
652 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19236 |
651 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19215 |
저희도 공정 경험이 없어 답을 드리기 힘들지만, 다음 키워드로 조사를 하면 계시판 답글에서 정보를 얻으실 수 있으실 것 같습니다.
제가 생각하기에는 공정이슈로 보입니다.
다만 관련 플라즈마에 관해서는 세정, 폴리머, 친수성, RIE 모드 또는 플라즈마 모드, self-bias 현상과 관련이 있을 것 같아 키워드 추천드립니다. 혹시 여력이 되면 음이온 플라즈마의 공간 분포의 현상에도 관심을 가져 보시기 바랍니다.