Plasma in general self bias

2023.03.13 16:58

브로 조회 수:549

self bias에 대한 개념을 교수님 말씀 읽고 숙지하였습니다 .감사합니다. 

그렇다면 교수님, self bias의 정의를 두 전극에 RF바이어스를 가했을 시,면적의 차이 등으로 인해 두 전극에 나타나는 전위차로 설명하는 것은 잘못된 설명인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77138
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20425
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57335
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68873
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92897
722 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 431
721 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 440
720 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 440
719 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 445
718 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 451
717 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 452
716 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 453
715 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 455
714 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 455
713 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 455
712 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 465
711 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 468
710 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 470
709 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 473
708 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 475
707 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 486
706 plasma striation 관련 문의 [1] file 493
705 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 494
704 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 495
703 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 496

Boards


XE Login